Szilícium-karbid kerámia: A félvezető eljárásokhoz nélkülözhetetlen precíziós alkatrészek (1. rész)
A szilícium-karbid (SiC), mint nagy teljesítményű szerkezeti kerámia anyag, olyan jellemzőkkel rendelkezik, mint a nagy sűrűség, nagy hővezető képesség, nagy hajlítószilárdság, nagy rugalmassági modulus, erős korrózióállóság és magas hőmérsékleti ellenállás. Kevésbé hajlamos a hajlítási igénybevétel vagy a termikus igénybevétel miatti deformálódásra, így alkalmas durva korrozív és ultramagas hőmérsékletű környezetekre, amelyek olyan félvezető eljárások során fordulnak elő, mint az ostya epitaxia, maratás és egyéb. Következésképpen széles körben alkalmazzák olyan eljárásokban, mint a csiszolás és polírozás, hőkezelések, például epitaxia/oxidáció/diffúzió, litográfia, leválasztás, maratás és ionimplantáció a félvezetőgyártásban.
Köszörülési folyamat
• Szilícium-karbid csiszolókorong szemcsék
SiC csiszolókorong ostyacsiszoláshoz A bugák ostyára vágása után gyakran előfordulnak éles élek, sorják, repedések vagy egyéb hibák. Az ostya szilárdságára, felületi minőségére és a részecskékből származó szennyeződésekre gyakorolt káros hatások elkerülése érdekében a következő folyamatokban az ostyákat meg kell csiszolni a vastagság csökkentése, az ostya felületének síkságának javítása és a huzalvágás által okozott felületi sérülések kiküszöbölése érdekében. Jelenleg a legelterjedtebb módszer a kétoldalas köszörülés csiszolókorongokkal, és a köszörülési minőség javítására törekednek a köszörülési paraméterek, például a korong anyaga, a köszörülési nyomás és a forgási sebesség optimalizálásával.
A kétoldalas köszörülés elve
Hagyományosan a köszörűkorongok túlnyomórészt öntöttvasból vagy szénacélból készültek, rövid élettartam és jelentős hőtágulási együttható jellemezte őket. A kopásálló SiC kerámia anyagok és szinterezési eljárások fejlődésével azonban a SiC köszörűkorongok fokozatosan felváltották az öntöttvas és szénacél csiszolókorongokat nagy keménységük, alacsony kopásuk és a szilícium lapkákhoz hasonló hőtágulási együtthatójuk miatt, ami jelentős előnyöket kínál. különösen a nagy sebességű csiszolási és polírozási folyamatokban.
Szilícium-karbid csiszolókorong
Hőkezelés és egyéb eljárások
• Szilícium-karbid rögzítések és alkatrészek a reakciókamrák belsejében
SiC rögzítők és alkatrészek reakciókamrákban Az ostyagyártás különféle termikus folyamatokat foglal magában, például oxidációt, diffúziót, izzítást és ötvözést, amelyekhez SiC kerámiatermékek szükségesek az ostya szállításához a folyamatok és a hőfeldolgozó berendezéseken belüli alkatrészek között.
Kerámia karok
A félvezető lapkák gyártásánál magas hőmérsékletű hőkezelésre van szükség, gyakran mechanikus karokat használva a félvezető lapkák szállítására, kezelésére és pozicionálására. Ezeknek a karoknak nagy mechanikai szilárdsággal, korrózióállósággal, magas hőmérséklettel szembeni ellenállással, kopásállósággal, nagy keménységgel és szigeteléssel kell rendelkezniük, mivel tiszta, nagy sebességű és gyakran korrozív környezetben működnek, például vákuumban, magas hőmérsékleten és reaktív gázokban. . A timföldhöz képest a SiC kerámiakarok jobban megfelelnek ezeknek a követelményeknek, de magas költségük és feldolgozási nehézségeik némileg korlátozták alkalmazásukat.
Alkatrészek a reakciókamrákban
A hőfeldolgozáshoz használt félvezető berendezések közé tartoznak az oxidációs kemencék (vízszintes és függőleges) és a Rapid Thermal Processing (RTP) berendezések. A magas üzemi hőmérséklet miatt a reakciókamrákban lévő alkatrészek nagy teljesítményt igényelnek. A nagy tisztaságú szinterezett SiC alkatrészek, beleértve a függőleges csónakokat, talapzatokat, béléscsöveket, belső csöveket és terelőlemezeket, nélkülözhetetlenek az integrált áramköri hőfeldolgozó berendezésekben.
A reakciókamrák belsejében lévő alkatrészek
Folytatásra....
XIAMEN MASCERA TECHNOLOGY CO., LTD. egy jó hírű és megbízható beszállító, amely műszaki kerámia alkatrészek gyártására és értékesítésére szakosodott. Egyedi gyártást és nagy pontosságú megmunkálást biztosítunk nagy teljesítményű kerámia anyagok széles sorozatához, beleértve timföld kerámia, cirkónia kerámia, szilícium-nitrid, szilícium-karbid, bór-nitrid, alumínium-nitrid és megmunkálható üvegkerámia. Jelenleg kerámiaalkatrészeink számos iparágban megtalálhatók, mint például a mechanikai, vegyipari, orvosi, félvezető-, jármű-, elektronikai-, kohászati stb. iparban. Küldetésünk, hogy a legjobb minőségű kerámia alkatrészeket biztosítsuk a globális felhasználók számára, és nagy öröm látni kerámiánkat. az alkatrészek hatékonyan működnek az ügyfelek speciális alkalmazásaiban. Mind a prototípus, mind a tömeggyártás területén tudunk együttműködni, keressen minket, ha igényei vannak.
