Fejlett kerámia komponensek alkalmazása a félvezető gyártási folyamatokban
A félvezető chipeket, mint az elektronikai termékek magját, széles körben használják különféle területeken. A félvezető gyártási folyamatokban a precíziós kerámia alkatrészek fontos szerepet játszanak az olyan kulcsfontosságú folyamatokban, mint a litográfia, maratás, leválasztás, kémiai mechanikai polírozás (CMP), ionimplantáció és huzalkötés. Ez a cikk áttekintést nyújt a speciális kerámiakomponensek konkrét alkalmazásairól és előnyeiről ezekben a folyamatokban.
Alkalmazások félvezetőben mgyártási folyamatok
| Anyagok | Alkalmazások |
| Alumínium-oxid (Al2O3) | >A félvezetőgyártás üreges elemei >Polírozó lemezek és platformok >ostyatartók >Szigetelő karimák >Végeffektorok |
| Szilícium-karbid (SiC) | >XY platformok és bázisok >Fókuszáló gyűrűk >Polírozó lemezek >Ostyatartók >Vákuumos tapadókorongok >Végeffektorok >kemence csövek >csónak alakú hordozó >konzolos lapátok |
| Alumínium-nitrid (AlN) | >Forgácsfűtők >elektrosztatikus bilincsek |
| Szilícium-nitrid (Si3N4) | >Félvezető berendezések platformjai >Csapágyak |
>
A fotolitográfia a félvezetőgyártás alapvető folyamata, amely fényérzékenységet használ
ellenáll, hogy marásálló mintákat hozzon létre a megmunkált felületen. Ez a folyamat rendkívül hatékony, precíz és stabil mozgásszabályozási és vezetési technológiákat igényel, magas követelményeket támasztva a szerkezeti elemek méretpontosságával és anyagteljesítményével szemben.
Szilícium-karbid kerámiaA nagy rugalmassági modulusukról és merevségükről, deformációállóságukról, magas hővezető képességükről és alacsony hőtágulási együtthatójukról ismertek, kiváló szerkezeti anyagok, amelyeket az integrált áramkörök gyártása során használt kulcsfontosságú berendezésekben, például szilícium-karbid fokozatokban, vezetősínekben, tükrökben, kerámia tokmányokban használnak. , és vég effektorok.
<Rézkarc>
A maratás a félvezetőgyártási folyamatok kritikus lépése. A plazmamarató berendezésben végzett maratási folyamat során az eljárás
a kamra és a belső alkatrészek erős korróziónak vannak kitéve a nagy sűrűségű, nagy energiájú plazmabombázás következtében. Ez nemcsak lerövidíti az alkatrészek élettartamát, hanem illékony reakció melléktermékeket és szennyező részecskéket is generál a kamrában, ami befolyásolja a kamra tisztaságát.
A jó korrózióállóságú, fejlett kerámia anyagokat széles körben használják plazmaálló maratóanyagként az ostyafeldolgozó berendezésekben. A nagy tisztaságú alumínium-oxid bevonatokat vagy timföldkerámiákat általában maratókamrák és belső alkatrészek védőanyagaként használják. A plazmamaratási berendezésekben használt precíziós kerámia alkatrészek közé tartoznak az ablakok, a kilátó ablakok, a gázelosztó lemezek, a fúvókák, a szigetelő gyűrűk, a fedőlemezek, a fókuszgyűrűk és az elektrosztatikus tokmányok.
<Lerakódás>
A leválasztás egy utólagos maratási eljárás és a forgácsgyártás egyik alapfolyamata"vékonyréteg-lerakódás."Vékony fóliákat használnak vezető vagy szigetelő rétegek, tükröződésmentes bevonatok és ideiglenes marásgátlók létrehozására. Különböző funkciókhoz különböző anyagokat használnak, amelyek speciális folyamatokat és berendezéseket igényelnek. A leválasztási folyamatok fizikai folyamatokra (PVD) és kémiai eljárásokra (CVD) sorolhatók.
A maratáshoz hasonlóan a plazmatechnológiát alkalmazó vékonyréteg-leválasztási eljárások is korrózióveszélyt jelentenek a kamra és az alkatrészek számára. Ezért a fejlett kerámiákat a leválasztó berendezések kritikus fogyóanyagaiként használják, ideértve a kamrafedeleket, kamrabetéteket, leválasztógyűrűket, elektrosztatikus tokmányokat, fűtőelemeket, galvanizáló szigetelőket és vákuummegszakító szűrőket.
<Kémiai mechanikai polírozás (CMP)>
A CMP kulcsfontosságú technológia a félvezetőgyártási folyamatokban, különösen a 0,35 μm alatti folyamatok esetében, mivel lehetővé teszi a planarizálást és befolyásolja a későbbi folyamathozamokat. A CMP a mechanikai súrlódást kémiai maratással kombinálja. A CMP berendezések működési elve hosszú távú súrlódáshoz és korrózióhoz vezet, ami a kritikus fogyóeszközök, például polírozóasztalok, polírozó párnák, kezelőkarok és vákuumszívókorongok kopását és elhasználódását okozza.
Az alumínium-oxid kerámiák és a szilícium-karbid kerámiák olyan tulajdonságokkal rendelkeznek, mint a nagy sűrűség, nagy keménység, nagy kopásállóság, jó hőállóság, kiváló mechanikai szilárdság és szigetelő tulajdonságok magas hőmérsékleten. Ezek a tulajdonságok ideális anyagokká teszik őket a CMP berendezések kritikus fogyóanyagaihoz.
<Ion beültetés>
Az ionimplantáció a félvezetőgyártás egyik általános doppingtechnikája, amelyet szennyeződések bejuttatására használnak az aktív régiókba, szubsztrátumokba és a kaputerületekbe a vezetőképesség növelése érdekében. Az ionbeültetés során az ionforrásból előállított ionokat felgyorsítják, és az ostya felületére bombázzák. Csapágyakat, vákuum tapadókorongokat, elektrosztatikus tokmányokat és egyéb precíziós kerámia alkatrészeket gyakran használnak az ionbeültetési eljárásokban.
<Huzalkötés>
A huzalkötés a félvezető csomagolásban használt elsődleges módszer a chipek és a hordozók közötti elektromos kapcsolatok létrehozására. A kerámia pengék nélkülözhetetlen eszközök a wi
újrakötési folyamat. A teljesen megterhelt huzalkötő gépekben a nagy mennyiségű huzalkötés miatt a kerámialapátok jelentős mértékben fogyasztanak. Jelenleg az alumínium-oxid a kerámialapátok elsődleges anyaga, és egyes gyártók cirkónium-oxidot adnak hozzá, hogy egyenletesebb és sűrűbb mikroszerkezetet érjenek el, ami 4,3 g/cm³-re növeli a sűrűséget, és csökkenti a kopás gyakoriságát és a pengecsúcsok cseréjét a huzalkötés során.
Az említett alkalmazásokon kívül a precíziós kerámia alkatrészeket félvezető berendezésekben is alkalmazzák olyan folyamatokhoz, mint az oxidáció, a diffúzió és az izzítás az ostya hőkezelő berendezésekben. Összefoglalva, a precíziós kerámiák alkalmazása félvezető berendezésekben meghaladja a képzeletünket, és számos kritikus szerepet tölt be a különböző folyamatokban.
XIAMEN MASCERA TECHNOLOGY CO., LTD. egy jó hírű és megbízható beszállító, amely műszaki kerámia alkatrészek gyártására és értékesítésére szakosodott. Egyedi gyártást és nagy pontosságú megmunkálást biztosítunk nagy teljesítményű kerámia anyagok széles sorozatához, beleértve timföld kerámia, cirkónia kerámia, szilícium-nitrid, szilícium-karbid, bór-nitrid, alumínium-nitrid és megmunkálható üvegkerámia. Jelenleg kerámiaalkatrészeink számos iparágban megtalálhatók, mint például a mechanikai, vegyipari, orvosi, félvezető-, jármű-, elektronikai-, kohászati stb. iparban. Küldetésünk, hogy a legjobb minőségű kerámia alkatrészeket biztosítsuk a globális felhasználók számára, és nagy öröm látni kerámiánkat. az alkatrészek hatékonyan működnek az ügyfelek speciális alkalmazásaiban. Mind a prototípus, mind a tömeggyártás területén tudunk együttműködni, keressen minket, ha igényei vannak.
