Pirolitikus bór-nitrid (PBN)
A pirolitikus bór-nitrid (PBN) egy rendkívül nagy tisztaságú kerámiaanyag, amelyet kémiai gőzleválasztással (CVD) állítanak elő magas hőmérsékleten és vákuumban, és 99,999%-os tisztaságot érnek el (5N fokozat). Kivételes kémiai tehetetlensége és magas hőmérsékleti stabilitása ideális választássá teszi a félvezető-feldolgozáshoz, kristálynövekedéshez és nagyvákuum-alkalmazásokhoz. A PBN rendkívül nagy tisztasága minimális szennyeződést biztosít, így elengedhetetlen az MBE, a MOCVD és más fejlett anyaggyártási folyamatokhoz. Ezen túlmenően a szerkezeti integritás extrém környezetben való megőrzésére való képessége miatt előnyben részesített anyag tégelyekhez, párolgási forrásokhoz és precíziós alkatrészekhez az igényes iparágakban..
Tulajdonságok
Ultra-nagy tisztaságú (99,999%, 5N minőségű).
Magas hőmérsékleten nincs gázkibocsátás.
Egyenletes vastagság az állandó fűtési teljesítményért.
Magas hőstabilitás és hősokkállóság.
Jó mechanikai integritás, könnyen tisztítható és újrafelhasználható.
Kémiailag erősen inert, ellenáll a savaknak, lúgoknak és az oldószereknek magas hőmérsékleten.
Adatlap
azonos | Egység | Műszaki paraméter |
Tisztaság | % | >99.999 |
Szín | - | lvory |
Sűrűség | g/cm³ | 1,95-2,22 |
Rácsállandó | m | a: 2,5x10-10 c: 6,8x10-10 |
Szakítószilárdság | Mpa | 40 |
Hajlító szilárdság | Mpa | 80 |
Hővezetőképesség @200°C | W/mk | a:82,3 c:2,6 |
Hővezetőképesség @900°C | W/mk | a:55,3 c:2,8 |
Hőtágulási együttható | 10-6/K | 2(a) |
Max. működőképes hőmérséklet@Légkondicionáló | °C | 900 |
Max. működőképes hőmérséklet @ Vákuum állapot | °C | 2000 |
Max. működő hőmérséklet @ Inert gáz védelem | °C | 2200 |
Dielektromos állandó (10 GHz) | - | a:5,2 c:3,8 |
Dielektromos szilárdság | KV/mm | 56 |
Elektromos ellenállás | Ohm.cm | >1015 |
Alkalmazások
Olvasótégelyek III-V félvezető egykristályok (GaAs, InP, GaP stb.) in situ növekedéséhez.
Tégelyek és csónakok III-V egy- és polikristályok növesztéséhez.
Tégelyek és párologtató források molekuláris nyaláb epitaxiához (MBE) és OLED feldolgozáshoz.
IPBN-bevonatú grafit fűtőtestek és alkatrészek magas hőmérsékletű alkalmazásokhoz.
Szigetelő alkatrészek magas hőmérsékletű vákuumkemencékhez.
Magas hőmérsékletű szigetelő fúvókák.
PBN szigetelőlapok MOCVD rendszerekhez.
Magas hőmérsékletű elektromos szigetelő alkatrészek.
Tégelyek speciális kohászati alkalmazásokhoz.
Kapcsolódó termékek
>PBN Crucible | >PBN alátét | >PBN csónak |