DPC kerámia hordozó felületi csiszolási technológiája
DPC kerámia hordozókolyan műszaki előnyökkel rendelkeznek, mint a kiváló hővezető képesség/hőállóság, nagy grafikai pontosság és függőleges összekapcsolási képesség. Széleskörű alkalmazást találnak a teljesítmény félvezető világításban (fehér LED-ek), a sterilizálásban (mély ultraibolya LED-ek), a lézeres és optikai kommunikációban (LD&VCSEL), a termoelektromos hűtésben (TEC) és más területeken.
A DPC kerámia hordozók előkészítési folyamata főként a következőket tartalmazza:
(1) Fém magréteg (Ti/Cu) porlasztása a kerámia alapra.
(2)Fényérzékeny száraz fólia felhordása.
(3)Minták kialakítása expozíción és fejlesztésen keresztül.
(4)A rézréteg vastagítása mintás galvanizálással.
(5)Az aljzat felületi csiszolása (a rézréteg vastagságának és egyenletességének szabályozására).
(6)A száraz film eltávolítása, a magréteg maratása, végül felületkezelés (például kémiai ezüstözés vagy nikkel-aranyozás).
A DPC kerámia hordozók előkészítése során a galvanizáló áram egyenetlen eloszlása a rézréteg egyenetlen vastagságához vezet a hordozó felületén (a vastagságkülönbség meghaladhatja a 100 μm-t). A felületi csiszolás kulcsfontosságú folyamat a galvanizált rézréteg vastagságának szabályozására és egyenletességének javítására, amely közvetlenül befolyásolja a kerámia hordozók teljesítményét és az eszközök csomagolásának minőségét.
A rézanyag jó alakíthatósága miatt a köszörülési folyamat során könnyen képlékeny deformáció (karcolások vagy rézbőr) keletkezik, ami jelentős kihívásokat jelent. A DPC kerámia hordozók felületén lévő rézréteg csiszolására négy fő csiszolási technika áll rendelkezésre:
(1)Szalagcsiszolás:
A szalagcsiszolás egy általánosan használt durva köszörülési technika fémfelületekre. A hengereken lévő csiszolószalagokat használja a minták gyors őrlésére a szállítószalagon, ami nagy csiszolási hatékonyságot eredményez.
A szalagcsiszolás csiszolási sebessége azonban lényegesen magasabb, mint a CNC köszörülésé és a kerámia kefés köszörülésé, de a felületi érdesség és a vastagság egyenletessége viszonylag gyenge. Ezenkívül a rézréteg éleinek képlékeny deformációja miatt észrevehető hibák léphetnek fel.
(2)CNC köszörülés:
A CNC-köszörülés főként CNC-csiszológépeket alkalmaz. Kezdetben csiszolópapírt rögzítenek a csiszológép vágófejéhez. A platformra erősített kerámia felületeket a forgó vágófej gyorsan köszörüli. A CNC köszörülési folyamatok egyszerűek, és a köszörülés viszonylag egyenletes. Azonban nagy mennyiségű csiszolópapírt fogyaszt, és kézi cserét igényel.
(3)Kerámia kefe csiszolás:
A kerámia kefecsiszolás nagy sebességgel forgó kerékfelületeket használ kerámia/gyémánt kompozit csiszolóanyagokkal a szállítószalagon bizonyos sebességgel mozgó kerámia szubsztrátumok csiszolására. Mivel a görgő tengelyén lévő nyomásérzékelők szabályozhatják a csiszolási nyomást, és a gumi pufferként működik, a kerámia kefe csiszolás hatékonyan szabályozhatja a rézréteg vastagságát és egyenletességét az alapfelületen.
(4)Kémiai mechanikus polírozás (CMP):
Ha nagy felületi követelmények szükségesek a DPC kerámia hordozókhoz, a CMP az előnyben részesített csiszolási technika. Bizonyos optoelektronikai eszközöknél (például lézeres LD-k és VCSEL-ek), amelyek a kerámia hordozó megszilárdult kristályterületének minőségének további javítását igénylik (0,1 μm alatti felületi érdesség és 10 μm alatti vastagság eltérés szükséges), CMP-t kell alkalmazni.
A CMP csiszolófolyadékban lévő csiszolószemcsék kis részecskemérete miatt az őrlési hatékonyság alacsony. Ezért a CMP csak magas felületminőségi követelményekkel járó finomcsiszolási kezelésekre alkalmas, és olyan előfeldolgozási technikákkal kell kombinálni, mint a CNC-csiszolás és a kerámia kefecsiszolás.
XIAMEN MASCERA TECHNOLOGY CO., LTD. egy jó hírű és megbízható beszállító, amely műszaki kerámia alkatrészek gyártására és értékesítésére szakosodott. Egyedi gyártást és nagy pontosságú megmunkálást biztosítunk nagy teljesítményű kerámia anyagok széles sorozatához, beleértve timföld kerámia, cirkónia kerámia, szilícium-nitrid, szilícium-karbid, bór-nitrid, alumínium-nitrid és megmunkálható üvegkerámia. Jelenleg kerámiaalkatrészeink számos iparágban megtalálhatók, mint például a mechanikai, vegyipari, orvosi, félvezető-, jármű-, elektronikai-, kohászati stb. iparban. Küldetésünk, hogy a legjobb minőségű kerámia alkatrészeket biztosítsuk a globális felhasználók számára, és nagy öröm látni kerámiánkat. az alkatrészek hatékonyan működnek az ügyfelek speciális alkalmazásaiban. Mind a prototípus, mind a tömeggyártás területén tudunk együttműködni, keressen minket, ha igényei vannak.
