Sic szilícium-karbid kerámia tálcalemezek ICP maratáshoz

Termék részletei

Az epitaxiális növekedési folyamatokban használt ostyahordozókat magas hőmérsékletnek és szigorú kémiai tisztításnak vetik alá. A Mascera nagy tisztaságú szilícium-karbid kerámia tálcalemezeket kínál, amelyek kivételes hőállóságot, egyenletes hőeloszlást biztosítanak az epi réteg állandó vastagságának és ellenállásának biztosítása érdekében, valamint robusztus vegyi ellenállást biztosítanak.

A nemoxid kerámia, a szilícium-karbid kerámia (SiC) egy szuperkemény anyag, amelynek Moh-keménysége akár 9,5 is lehet. A szilícium-karbid kerámia nemcsak kiváló mechanikai tulajdonságokkal rendelkezik szobahőmérsékleten, mint például a nagy hajlítószilárdság, a kiváló oxidációs ellenállás, a jó korrózióállóság, a magas kopásállóság és az alacsony súrlódási együttható, hanem kiemelkedő mechanikai tulajdonságokkal (szilárdság, kúszási ellenállás) is rendelkezik magas hőmérsékleten, a magas hőmérsékleti szilárdság akár 1600°C-ig is fenntartható, ami a legjobb az összes kerámia anyag között. A szilícium-karbid kerámia oxidációs ellenállása is a legjobb az összes nemoxid kerámia között.

A Mascera kétféle formában állított elő szilícium-karbid kerámiát: szinterezett szilícium-karbidot (SSiC) és reakciókötésű szilícium-karbidot (SiSiC). 

A szinterezett szilícium-karbid kerámiát nagy tisztaságú és nanominőségű nyersporok felhasználásával állítják elő, amelyeket 2100 ℃ és 2200 ℃ közötti magas hőmérsékleten szintereznek. Ez a szinterelési folyamat a nyers test tömörödéséhez és körülbelül 20%-os zsugorodásához vezet. Másrészt a reakciókötésű szilícium-karbid mikron méretű szilícium-karbid port használ, és 1450 ℃ és 1700 ℃ közötti hőmérsékleten szinterelik. A szinterezett szilícium-karbiddal ellentétben a reakciókötésű szilícium-karbid nem szenved alakzsugorodást a szinterelési folyamat során.

A szinterezett szilícium-karbid magasabb szinterelési hőmérséklete jobb teljesítményjellemzőket eredményez, beleértve a nagyobb sűrűséget, a megnövekedett szilárdságot, valamint a fokozott oxidációs és korrózióállóságot. Azoknál az alkalmazásoknál, amelyek nem igényelnek ilyen nagy teljesítményű tulajdonságokat, a reakciókötésű szilícium-karbid költséghatékonyabb választás.

A szilícium-karbid kerámia fő tulajdonságai

• Nagy szilárdság magas hőmérsékleten

• Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás

• Kiváló kopásállóság

• Alacsony hőtágulási együttható

• Magas hővezető képesség

• Kiváló hősokk-állóság

• Nagy keménység

• Könnyű súly az alacsony sűrűség miatt
  

• Jó korrózióállóság

A szilícium-karbid kerámiák tipikus alkalmazásai

• Mechanikus tömítőgyűrűk

• Golyók, szelepülések, szelepbetétek

• kemencebútor

• Hőcserélők

• Fix és mozgó turbina alkatrészek

• Csiszolóközegek

• Égőalkatrészek

• Kerámia csapágyak

Anyagadatlap

Szilícium-karbid kerámiák elérhető formái

1. Kerámia rúd / kerámia csap / kerámia dugattyú

2. Kerámia cső / kerámia persely / kerámia hüvely

3. Kerámia gyűrű / kerámia alátét / kerámia távtartó 

4. Kerámia tárcsa

5. Kerámia lap / kerámia blokk

6. Kerámia golyó

7. Kerámia dugattyú

8. Kerámia tégely

9. Egyéb egyedi kerámia alkatrészek

Csomagolás és szállítás